聚光科技：7350系列质谱仪提升灵敏度和抗干扰能力

有投资者向聚光科技（300203.SZ）提问，谱育科技那款7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS），现在是不是已经开始批量交付了？产品性能跟国外相比，到底有没有差距，还是说已经更先进了？ 7月13日，公司回应说，谱育科技今年3月发布的7350系列，在灵敏度、抗干扰能力以及自动化联用这些核心指标上，都实现了大幅提升。对于半导体领域那些典型的样品——比如湿化学品、晶圆杂质金属、硅烷、电子特气这些——检测能力已经稳定在sub-ppt水平。不夸张地说，这个精度相当高，不仅能覆盖半导体全场景的超痕量检测需求，而且灵敏度提升后，还能更好地支持半导体量测端的数据质量管理，为主流和先进制程提供更严格的工艺规格和材料认证。