恒运昌：第四代等离子体射频电源系统Cedar系列处于验证状态，可实现快速大数据采集等

6月4日，恒运昌（688785.SH）披露了一份投资者关系活动记录表，里面有不少干货值得拆开来看。

先说说他们最核心的等离子体射频电源系统。这套系统的应用领域相当广，不光是半导体工艺里的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合这些环节，还覆盖了光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜，甚至常压等离子体清洗这类工业生产场景。值得注意的是，这套系统的定制化程度非常高——通常是由下游设备厂商先给出技术指标和功能要求，恒运昌再根据客户需求自主研发新产品，并制作样机供客户验证。说白了，这不是标准件，而是深度定制的解决方案。

在产品迭代方面，有一个值得关注的新动作：截至2025年年底，他们的第四代等离子体射频电源系统Cedar系列还处于验证阶段。这个系列最大的亮点是把射频电源和匹配器整合成了一个一体化平台，同时配备了多个中心阻抗应用，能够实现快速数据采集和大数据处理。对于支撑更先进制程来说，这是关键一步。

再来看看上游供应链的情况。恒运昌在这方面建立了一套相对稳定的供应商体系，评估维度包括经营资质、生产能力、技术水平、质量管控水平、产品价格，还要看响应速度和付款条件。通过综合评定后，合格的供应商会被列入名录，并在供货阶段实行动态管理，持续优化采购渠道。为了保证生产的连续性和稳定性，公司对常用材料建立了安全库存机制，考量因素则包括采购周期、供应商供货能力和起订门槛等。

从原材料构成来看，等离子体射频电源系统所用的主要元器件包括电容、电阻、芯片等电子元器件，功率模块等电气件，以及钣金件等结构件。这里有一个关键进展：自2024年开始，恒运昌在上游采购中已经逐步实现了真空电容、陶瓷电容、MCU、SiC MOS、LDMOS、部分ADC和FPGA等元器件的国产化应用。目前，公司已经确定了上游元器件的全国产化方案，后续将持续推进全面国产化验证工作。这意味着在供应链安全上，他们正在走一条更自主可控的路。

产能方面是个有点“甜蜜的烦恼”的局面——产能已经连续三年超负荷运行，2025年的产能利用率达到了98.51%，几乎是拉满了。为了缓解这种紧张状况，公司正在从两个方向发力：一是通过扩产和生产流程优化来提升产能，具体举措包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，帮助其从试产走向正式投产；同时推进深圳产能建设。二是逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设。这两条线走下来，后续产能释放值得期待。

最后是他们正在推进的“营销及技术支持中心项目”。这个项目的逻辑很清晰：在长三角地区、京津冀地区、中西部地区等晶圆制造集群区域设立营销及技术支持中心，目标是提升与晶圆厂的协同效率，保障产能快速扩张下的芯片良率与生产连续性。目前，公司已新增全资子公司北京恒运昌、上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌作为该募投项目的实施主体。其中，北京恒运昌已经进入正式运营阶段，其余三家还处于前期准备阶段。从布局节奏来看，长三角和中部地区的落子才刚刚开始。